エッチング加工プロセス解説：現像編
続いては現像工程です。
フォトリソグラフィはその名の通り写真技術を応用したプロセスですが、「露光」「現像」辺りは完全に写真用語ですね。
とは言え、写真が印画紙方式だった時代の言葉ですので、デジタルプリントが主流の現代では死語になりつつありますが。
ここからの工程はクリーンルームから出て、作業は一般環境下で行っていきます。
さて、現像工程では前回の露光工程で感光しなかった箇所のレジストを薬品で除去し、後のエッチング工程で加工したくない箇所のみを正確に保護したマスキングパターンを作っていきます。
感光して固まった箇所のレジストを残し、それ以外のレジストを溶かしていくイメージですが、これも処理に過不足があると最終の仕上がり寸法や形状に悪影響が出る為、薬液の状態や処理時間はしっかり管理されています。
製品の厚みや形状などによっては、必要に応じてレジストと材料の密着を更に良くする為の特殊な処理を追加することもあります。
エッチング加工するには密着が良いに越したことは無いのですが、良すぎると今度は最後に剥がすのが大変になるのでバランスが難しいところです。
現像工程でレジストのマスキングパターンが出来上がったところで、次はいよいよエッチング加工の工程に進みます。
