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エッチング加工プロセス解説:ラミネート編

続いての工程はレジストラミネートです。

ここからの工程では不良の原因となる異物の付着を避ける為、作業はクリーンルームの中で行われます。

大体どこに行っても「レジスト」で通じますが、正式名称は「フォトレジスト」と言います。
「フォト」の名の通り、光に反応して性質が変化する「感光性」を持っており、当社工程で使用しているのは紫外光(UV)に反応して固まる「ネガ」タイプのものです。
(逆に感光した箇所だけが後の工程で溶けてしまうのが「ポジ」タイプ。)

「レジスト」には「抵抗する」「耐える」という意味があり、これはエッチング工程で薬品に耐え、必要部分を保護する働きから来ています。

必要でない箇所が感光してしまっては困るので、クリーンルーム内の照明はUVをカットした特殊なもの(安全光)になっており、クリーンルームの中が黄色く見えるのはこの照明によるものです。

レジストはラミネーターという専用の装置で圧力と熱を加えながら貼り付けていきます。

材料とレジストの密着性は製品の形状や寸法の良否に直結する為、ラミネート工程でしっかりと貼り付けておくことが重要です。

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