製造事例
ステンレス製ラッピングキャリア
エッチング加工により作成したステンレス製ラッピングキャリアの事例です。
ラッピングキャリアはウェハをラップ研磨する際に用いられる治具です。
ラップ研磨はラップ盤でウェハを上下から挟みこみ、研磨剤を流し込みながら加工する研磨方法の一種ですが、ラッピングキャリアは内側にウェハを固定するポケット、外周に装置から回転力を得る為の歯車を有しており、加工時に装置内でウェハを保持しつつキャリア自体が回転することで効率良く均一な研磨を実現します。
用途上、キャリア自体の反りやバリ、カエリなどは嫌われますので、加工応力が掛からず、加工によるバリやカエリの生じないエッチングはラッピングキャリアの製造に適した加工方法と言えます。
また、ラッピングキャリアは用途上、ワークサイズや厚みに合わせて用意する必要があり、どうしても少量多品種、短納期での対応が必要となってくる為、そういった観点からもイニシャルコストが低く、小回りの利くエッチングとの相性は良好です。
樹脂、SPCC、SK材など様々な材質の物があるようですが、弊社では主にSUS304製のものを生産しております。
SUS304の中でも板厚精度が良く、高強度でエッチング加工性も良好な冷間圧延材の薄板を選択されるのが一般的です。
弊社では幅広い板厚ラインナップのSUS304材を常時在庫している他、それ以外の材料のご要望にも柔軟に対応しております。
製品仕様
- 材質：SUS304（サンプル仕様/他材料も対応可）
- 加工方法：エッチング
- 外形サイズ：φ144～288mm（サンプル仕様/更に小サイズ、大サイズも対応可）
- 板厚：0.2mm（サンプル仕様/他板厚ラインナップあり）
