エラーのお話② 「突起」編
前回に続いてエッチングにおけるやっかい者のお話です。
前回はエッチングするつもりがない箇所がエッチングされてしまう「ピンホール」のお話でしたが今回は逆、エッチングしたい箇所がエッチングされずに残ってしまう「突起」とか「でっぱり」「エッチング残り」と呼ばれる現象についてお話していきます。
（ここでは総称として「突起」と呼んでいくことにします）
発生する現象は真逆ですが、要因としてはピンホールと同じ、マスキング部の不具合によるエラーということになります。
ピンホールの場合はマスキングすべきところがマスキングされずに不要な加工が進行してしまいますが、突起の場合はマスキングすべきでないところがマスキングされてしまうことで、本来加工しなければいけない箇所が加工されずに残ってしまう、という不具合モードです。
マスキング部にエラーが生じる要因はこれもまた様々で、露光時にフォトマスク側の欠陥で意図しない箇所が露光されてしまったり、現像時に除去すべき箇所のレジストが上手く除去できなかったり、マスキングパターンはきちんとできているのに開口部に何かしらの異物が付着してしまったりと、容疑者が多すぎて発生時には毎回捜査が難航しがちです。
片側からだけなら「突起」ですが、例えばスリット状のパターンをまたいで繋げてしまうようなでっぱりになると、こちらは「ショート（短絡）」と呼ばれるモードに変わります。
また、メッシュのような製品で1穴が丸ごと塞がってしまうと「目詰まり」ということになりますね。
これらもピンホールと同様、それぞれの製品に応じた基準に従い、外観検査で合否判定を行っていきます。
検査員さん達は優秀なので、よくこんな小さいでっぱりを見付けるものだなぁと感心するものですが、
逆にものすごく大きい突起を「あまりにも堂々としてるから、そういうパターンなのかと…」とスルーしてしまった、なんて笑い話も。
ちなみにここに出てくる不具合モードの呼び方は恐らく当社独自のものですので、他社さんに通じなくてもクレームはご容赦ください。
それでは、また。
