課題解決事例一覧
CCMT採用で基板全体への成膜を実現
課題
光学部品メーカーのお客様が基板を成膜する工程にて、反転して装置に取り付ける都合上、基板が落ちないようにする為の押さえがどうしても必要となり、その部分に膜付けができずに困っていた。提案内容
基板を横からクランプできるCCMTをご提案。 成膜の妨げになる押さえを付ける必要がなく、基板の全面に膜付けをすることができるようになった。結果
横からクランプすることで課題となっていた基板全体への成膜を実現するとともに、一括で固定。 解放可能なCCMTの特性により作業性も改善され高評価をいただいた。製品仕様
