製造事例
超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工
一部お客様からのご要望により、フォトマスクへの穴開け、ザグリ等の追加工を行っています。
以前はサンドブラストを使って同様の加工を行っていましたが、超音波ドリルを使用することで加工形状がよりシャープになり、チッピング等も軽減することができました。
（比較画像をご覧下さい。）
ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能です。またサンドブラスト加工に必要だった原版も不要となり、コスト面でも有利となります。
製品仕様
- 対応材質：ソーダライムガラス、合成石英 など
- 加工ワーク寸法：最大□300mm
- 位置決め精度：各軸±5μm
- 繰り返し精度：各軸±2μm
- ザグリ深さ精度：±20μm（実績値）
