製造事例

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超音波ドリルによるフォトマスクへの追加工

フォトマスク事業部

一部お客様からのご要望により、フォトマスクへの穴開け、ザグリ等の追加工を行っています。
以前はサンドブラストを使って同様の加工を行っていましたが、超音波ドリルを使用することで加工形状がよりシャープになり、チッピング等も軽減することができました。
(比較画像をご覧下さい。)
ドリル加工機は社内で保有しており、社内一貫加工による短納期対応が可能です。またサンドブラスト加工に必要だった原版も不要となり、コスト面でも有利となります。

製品仕様

  • 対応材質:ソーダライムガラス、合成石英 など
  • 加工ワーク寸法:最大□300mm
  • 位置決め精度:各軸±5μm
  • 繰り返し精度:各軸±2μm
  • ザグリ深さ精度:±20μm(実績値)

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