製造事例
金属接合・封止用メタライズ
ガラスレンズやサファイヤキャップなどの外周部への薄膜メタライズ加工。高密度で信頼性の高い金属接合・封止を行うためのメタライズ膜を形成します。
当社のクランプ機能付き金属トレイ「CCMT」を使用することで、個片チップへの対応も可能です。
製品仕様
- 材質：アルミナ、石英ガラス
- 金属膜：Ti/Pd/Cu/Ni/Au、Ti/Pt/Au
- チップサイズ：□3.3mm、φ2.8mm
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